]*>","")" /> 光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析
色谱

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光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅的气相色谱分析

李卜森,朱新芳,张琪,   

  • 出版日期:1994-03-30 发布日期:1999-08-25

  • Online:1994-03-30 Published:1999-08-25

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摘要： 采用石英毛细管柱与氩检测器相联结的气相色谱方法定量检测高纯的光纤原料四氯化硅中微量三氯氢硅等含氢杂质。该方法简单、可靠，三氯氢硅的检测下限达０．１×１０￣（－６）Ｗ／Ｗ。

关键词: 气相色谱, 三氯氢硅, 四氯化硅. , 氩检测器

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